[학습자료] 반도체 공정설비 - 플라즈마
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수료 항목 | 수료 기준 | 평가 방법 |
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시험 | * 환급(사업주훈련) 과정 100점 만점 기준 60점 이상 * 비환급(일반) 과정 - 시험 있는 과정 : 시험 응시(점수 무관) - 시험 없는 과정 : 시험 없음(진도율로 수료) ※ 기업의 요청이 있을 경우, 수료기준은 다를 수 있습니다. |
- 최종평가 선다형 문제 20문항 출제 총 100점 만점, 배점 각 5점. (총 100% 반영) |
진도율 | * 환급(사업주훈련) 과정 진도율 100% 기준, 80% 이상 시 수료 가능 * 비환급(일반) 과정 진도율 100% 기준, 100% 이상 시 수료 가능 |
차시별 총 학습시간의 50% 이상 학습한 차시만 해당 과정의 총 진도율에 반영됩니다. |
차시 | 차시명 | 학습 목표 | 강의 시간 |
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1차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (1) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
29분 |
2차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (2) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
25분 |
3차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (3) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
27분 |
4차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (4) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
26분 |
5차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 기초 (5) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
29분 |
6차시 | 단위공정 최적화하기_기체 분자 운동론과 진공 (1) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
26분 |
7차시 | 단위공정 최적화하기_기체 분자 운동론과 진공 (2) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
30분 |
8차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 형성 방법 (1) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
25분 |
9차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 형성 방법 (2) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
25분 |
10차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Dry Etch (1) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. - 실시간 공정 모니터링 센서를 활용하여 실시간 공정진단을 수행할 수 있다. |
28분 |
11차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Dry Etch (2) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. - 실시간 공정 모니터링 센서를 활용하여 실시간 공정진단을 수행할 수 있다. |
29분 |
12차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Dry Etch (3) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. - 실시간 공정 모니터링 센서를 활용하여 실시간 공정진단을 수행할 수 있다. |
27분 |
13차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - PECVD | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
30분 |
14차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - PVD (Sputtering) | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
31분 |
15차시 | 단위공정 최적화하기_Plasma 사용 공정 - Doping | - 공정개선 요구사항을 확인하여 성능개선을 위한 재료 선택 및 공정 방법을 도출할 수 있다. - 성능 개선의 요구에 따라 전/후 공정을 고려하여 단위공정을 효율적으로 재구성할 수 있다. - 공정 최적화를 통해 효율적인 공정을 설계하고 검증할 수 있다. - 공정의 특성을 객관적으로 평가하여 개발된 공정의 적합성을 판별할 수 있다. |
28분 |
번호 | 과정 분류 | 제목 | 등록일 | 조회수 |
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4 | 반도체 | 좋은 강의 감사합니다. | 2024-03-28 | 281 |
3 | 반도체 | 공정에 대해 심도있게 알 수 있었습니다. | 2024-03-26 | 374 |
2 | 반도체 | 잘 들었습니다 | 2024-03-05 | 305 |
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